法国Oxypharm干雾灭菌系统由巴黎中央理工学院工程师Arnaud 和药剂博士Thierry两兄弟在2003年研发。是世界上先进的过氧化氢空间灭菌设备。

使用电源带动（无需使用压缩空气），利用文丘里原理高速吸入空气，在喷头内给空气足够大的动能，让气体与消毒液高速碰撞产生直径＜5 μm的干雾颗粒，喷射速度保持80m/s。这样消毒液将以干雾颗粒的形式弥散在需要灭菌的无菌洁净区，从而达到彻底灭菌效果，可替代传统熏蒸。

并且Oxypharm干雾灭菌系统设计还解决了散热问题，核心部件采用航空发动机的加工工艺。设备本身体积小，移动方便不占用空间。

该设备在法国广泛用于疾控中心、医院、化验室、救护车、血站、制药车间洁净室、医疗器械、食品加工中心、航空空间仓等。2015年开始在国内广泛推广。

优势：
1.强大的杀菌能力，能杀灭包括病原菌（支原体、衣原体、立克次氏体）、芽孢、大肠杆菌、分枝杆菌、真菌、细菌繁殖体等病原微生物。
2.干雾微粒小达到5微米以下，扩散性好，用量小，空间均匀好，在难以到达的地方也有很好的空间和表面接触效果，对黑色枯草能够达到6个Log的杀灭效果。
3.工作环境为±50℃
4.材料相容性好，对如电脑主机、手机、打印机等敏感电子产品没有影响；对绝大数金属材料和非金属材料兼容性良好。特别是对空间的彩钢板没有任何腐蚀作用。（ 国产的采用加热原理的，对彩钢板会腐蚀）
5.消毒液的使用量小，最低只要1ml/m³空间。