二、仪器各部件详细参数：
射频发生器（RF）
（1）电路类型：电感反馈自激式振荡电路、同轴电缆输出、匹配调谐、取功率反馈信号，进行闭环自动控制
（2）工作频率：40.68MHz ± 0.05%
（3）频率稳定性：≤0.1%
（4）输出功率：800—1200W
（5）输出功率稳定性：≤0.3%
（6）电磁场泄漏射强度：距机身20cm 处，电场强度E：＜2 V / m
进样装置
（1）输出工作线圈：内径25mm 、3匝
（2）炬管：三同心型，外径20mm的石英炬管
（3）同轴型喷雾器：外径6mm
（4）双筒型雾室：外径34mm 
（5）观测位置：纵向观察高低和横向观察前后，可通过软件直观地调为最佳
（6）氩气流量计规格和载气压力表规格：
1、等离子气流量计：(100－1000)L/h    (1.6－16L/min)
2、辅助气流量计：(10－100)L/h      (0.16－1.66L/min)
3、载气流量计：(10－100)L/h      (0.16－1.66L/min)
4、载气稳压阀：(0－0.4Mpa)L/h
5、冷却水：水温：15－25℃ 流量＞5L/min 水压＞0.1Mpa 冷却水：电阻率＞1MΩ
分光器
（1）光路：Czerny－Turner
（2）焦距：1000mm
（3）光栅规格：离子刻蚀全息光栅；刻线密度3600线/mm，刻线面积：80×110mm(或刻线密度2400线/mm，刻线面积：80×110mm)
（4）线色散率倒数：0.26nm/mm
（5）分辨率：≤0.006nm全波段
（6）扫描波长范围： 180-500nm，3600刻线/毫米；180-800nm，2400刻线/毫米
（7）扫描步距：0.0004nm
（8）出射、入射狭缝：20μm×25μm
（9）反射镜规格：（78×105×16）mm
（10）透镜：φ30，1:1成像
（11）反射镜规格：凹型
（12）分光器恒温装置：26℃±1℃
测光装置
（1）光电倍增管规格：R212UH或R928
（2）光电倍增管负高压：200-1000V，自动调节，稳定性＜0.05%
（3）光电倍增管电流测量范围：10^-4~10^-9A
（4）信号采集为V/F交换：1mV对应100Hz
（5）采样电路：使用国外高精密度运算放大器，使仪器的灵敏度和精确度大大提高
（6）仪器数据采集：通过串口与电脑连接，从而简化了电路使连接更加便捷
（7）测光方式：单、多元素顺序测量
操作软件：
（1）操作系统：Windows XP 操作平台
（2）测定波长数：任意选择
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