性能参数

大气压                             70~106KPa                                         工作台面中心振动静位移µm(rms)                        0.6

主过滤器类别                   ULPA                                                   人员保护                                                           6.89*100000

主过滤器效率                   99.9995%@0.12μm                             下降气流速度(m/s）                                          0.30

流入气流速度(m/s）        0.58                                                    外排风量（m³/h）                                             360
 

电源参数

频率                               50±1Hz

规格

工作室内表面材质           SUS304                                               重量（Kg）                                                      180

脚轮                               有                                                        柜内插座配置（防溅插座个数）                          1个

固定底脚                        可调高度75mm，无裸露螺纹

功能参数

过滤器阻塞报警             有                                                          过滤器破损报警                                                有

前窗玻璃防紫外线          有