MTM-10 ＆MTM-20 高分辨率薄膜厚度监视器

仅适用于Cressington Sputter和Carbon Coaters

高分辨率厚度监视器和厚度控制器基于以下原理：石英晶体的振荡频率由其上表面上的沉积膜的质量改变。电子测量该效果允许确定沉积膜的厚度。一旦将蒸发的材料的密度输入系统，就在范围为0-999.9纳米的四位LED显示器上测量厚度为0.1nm的分辨率。晶体和支架安装在真空室中，并通过提供的真空馈通连接到FTM电源。

MTM-10高分辨率厚度监视器

确保厚度控制的经济方法
如果不是不可能的话，在沉积期间精确地手动控制膜厚度是困难的。有时使用带有一滴油的白色瓷砖来粗略估计碳的涂层厚度，但是当需要重复的，可再现的涂层时不能使用。使用仪器设置也不是一种准确的方法，因为真空水平（用于溅射）和时间（用于蒸发）是非常关键的参数。高分辨率厚度监视器提供涂层厚度的可重复性，消除猜测并且方便。使用加工因子可以精确测量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度监测仪适用于任何Cressington溅射和碳涂层系统。



系统包括：

• MTM-10控制器盒
• BNC电缆/ BNC弯头
• 振荡器盒
• CS-108真空馈通，带BNC / SMB连接器和集成O形密封圈
• 水晶支架电缆7“/ 108mm
  水晶支架，M4螺钉尺寸ø19x20mm高。水晶面积ø6mm

MTM-20高分辨率厚度控制器

MTM-20高分辨率厚度控制器专为Cressington溅射涂布机系统设计，与108auto，108auto / SE和208HR溅射涂布机系统完全兼容。

MTM-10高分辨率厚度监视器和 MTM-20高分辨率厚度监视器规格
一般规格：	基于微处理器的4位数显示，按钮为零 6MHz晶振，带有寿命检查 每秒5次更新率
厚度范围：	0 999.9nm（POS / NEG）
解析度：	0.1nm用于金或碳
密度范围：	30.00g / CC 0.50
工具系数范围：	0.25 - 8.0
真空馈通：	CS 108；直径10mm，板材/法兰厚度为9mm。
水晶架：	不锈钢ø19x20mm。M4螺纹孔，用于安装，1/2“尺寸的晶体
水晶架电缆：	Mini-SMB，母/母之间的水晶支架和CS-108真空穿通装置
处理器功能：	对于MTM-10和MTM20，四组值可以存储在密度下的存储器中，四组可以存储在工具下
MTM-20控制器：	仅限MTM-20：可编程厚度端接功能，带终端接口电缆，108自动，208HR和DC-100 终端设备范围为0-999.9nm
MTM-10/20盒尺寸	210 x 160 x 77毫米（8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸）

 

产品＃	描述
93004	MTM-10高分辨率厚度监测系统* 110VAC，50 / 60Hz
93004-220	MTM-10高分辨率厚度监测系统* 220VAC，50 / 60Hz
93006	MTM-20高分辨率厚度控制器系统* 115VAC，50 / 60Hz
93006-220	MTM-20高分辨率厚度控制器系统* 220VAC，50 / 60Hz
93005	MTM-10高分辨率厚度监测系统，用于RPT或RT级* 110VAC，50 / 60Hz
93005-220	MTM-10高分辨率厚度监测系统，用于RPT或RT级* 220VAC，50 / 60Hz
93007	MTM-20高分辨率厚度控制器系统，用于RPT或RT级* 115VAC，50 / 60Hz
93007-220	MTM-20高分辨率厚度控制器系统，用于RPT或RT级* 220VAC，50 / 60Hz
93004-30	MTM-10/20的振荡器
93004-31	用于MTM-10/20的外部BNC电缆，3英尺长
93004-32	用于MTM-10/20的CS-108真空馈通
93004-35	适用于MTM-10/20的水晶架
93004-36	适用于MTM-10/20的水晶支架电缆，长度为6英寸（适用于108）
93004-37	用于MTM-10/20的晶体支架电缆，12英寸长度（适用于108,108SE，208,308））
93008	MTM-10/20的替换晶体
93009	MTM-10/20的替换晶体
93004-10	薄膜厚度硬件套件，无MTM-10
93004-12	用于RPT舞台的薄膜厚度硬件套件，无MTM-10