荷兰SPARKNANO薄膜沉积Omega系列

荷兰SPARKNANO公司简介：

SparkNano 是一家高科技产品公司，SparkNano 的 Spatial ALD 技术产品组合提供先进的实验室和高通量设备，并在整个产品生命周期中提供广泛的工艺和应用支持。在调查阶段，我们提供取样和配方设计服务，以达到预期的结果和层结构。安装后，我们继续为客户提供持续的现场和远程支持。

荷兰SPARKNANO薄膜沉积Omega系列产品介绍：

荷兰SPARKNANO薄膜沉积Omega系列通过优化的设计可实现超快沉积到柔性基材上，例如聚合物或金属箔。  

该系统可配置为热或等离子体增强空间 ALD，以匹配所需沉积的材料。卷材宽度、卷材速度和沉积材料将根据整体客户应用准备好采用。标准幅材宽度范围为 300 至 1000 mm，幅材速度高达 60 m/min。 

SparkNano使用用于其他高吞吐量能源应用的成熟技术。此外，我们还提供用于生产线集成的可选集成设计，例如插页。

荷兰SPARKNANO薄膜沉积Omega系列优势特点

Ø  基材类型：聚合物或金属箔件

Ø  基材尺寸：箔片宽度为 300 毫米至 2000 毫米。

Ø 过程：热等离子体增强 s-ALD

荷兰SPARKNANO薄膜沉积Omega系列主要应用：

荷兰SPARKNANO薄膜沉积Omega系列用于超高产量的卷对卷 (R2R) 系统，适用于在柔性箔上进行超高容量空间 ALD 生产