激光干涉仪

一.激光干涉仪概述
激光干涉仪可对机床、三测机及各种定位装置进行高精度的（位置和几何）精度校正，并可完成按标准测量各项参数，如线形位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它还具有若干为机床厂商和用户所欢迎的选择功能，如自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量与评估，回转坐标分度精度标定，触发脉冲输入、输出功能等。
二.激光干涉仪用途
激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。
激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。
激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。


三.激光干涉仪工作原理
激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。