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原子层沉积设备PICOSUN™ALD-P1000专门对于3D结构物体进行批量涂层加工。例如：机械零件、玻璃或金属片、硬币、珠宝以及医疗植入物等。
PICOSUN™ P-1000系统专门对于3D结构物体进行批量涂层加工，例如：机械零件、玻璃或金属片、硬币、珠宝以及医疗植入器械。主要的应用包括制备各种各样的钝化层和阻挡层，显著提高器件的性能和寿命。巧妙、创新的设计使得PICOSUN™ P-1000 ALD系统在具有制备高均一性的高质量ALD薄膜的同时能够有很高的产量，并且是市场上保养、维护时间最低，购置成本最小的ALD系统。这些都已经在实际生产中得到证实。可靠、快速且易于维护的PICOSUN™ P-1000ALD系统代表了最尖端的工业化ALD工艺水平！
原子层沉积设备PICOSUN™ALD-P1000技术参数：
| 衬底尺寸和类型 | • 大小不等的3D结构物件（例如：机械零件、玻 璃或金属片、硬币、珠宝以及医疗植入物等） |
| 工艺温度 | • 50 – 400°C |
| 标准工艺 | • Al2O3, ZnO, TiO2 |
| 基片装载 | • 通过装载工具进行手动装载 |
| 前驱体 | • 液态、固态、气态、臭氧源 • 源瓶余量传感器，提供清洗和装源服务 • 6根独立源管线，最多加载10个前驱体源 |
Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色，防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域，ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。
| ALD工业领域及应用 | |
| 产品 | ALD应用 |
| 医疗植入（牙科，连接技术） 手术固定器 | 植物活性层， 用来提高骨融 合，生物兼容的包覆层 |
| 植入医疗器件 （心脏起搏器，耳蜗植入） | 生物兼容包覆层 |
| 收藏性硬币 | 防着色涂层 |
| 钟表部件 | 防着色层或装饰层 |
| 珠宝 | 防着色层或装饰层 |
| PCB | 防锡晶须及腐蚀 |
