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德国Bruker公司是世界上第一家提供商用实验室极紫外光源的厂家。公司面向世界范围提供基于等离子体技术的极紫外光，远紫外光和X射线产品。
极紫外光（XUV）的波长在1纳米到50纳米之间，包括了通常所说的软X射线和远紫外光（EUV）。
特征：
- 安装简单，操作方便；
- 自成独立系统，可通过锆窗与应用真空系统隔离；
- 参数安全设定，符合CE标准；
- 可持久工作，维护费用低（只需电源和氙气）。
参数：
- 2 J / pulse electrical input
- > 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
- < 500 mm source diameter FWHM
- > 50 Hz Reprate
- Permanent operation 7 days / 24 h
- Guaranteed 100.000.000 pulses；
Tested up to 230.000.000（> 1200 hours） - Flexible head orientation
广泛用于：
- 纳米电子器件的实验室制作
- 纳米电子工业的光刻和工艺优化（如光刻胶优化）
- 作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究
极紫外光源系统 极紫外曝光系统
透射光栅摄谱仪（TGS） 放于真空系统中的能量检测仪Mini-E-Mon
