云纹干涉法由于采用栅线密度为600-1200线／毫米甚至超过2000线／毫米的高密度衍射光栅作为试件栅，其测量灵敏度和全息干涉法、散斑干涉法一样，可达到波长量级，比传统云纹法要高出30—120倍。此外，这种方法还具有全场分析、实时观测、高反差条纹，以及直接获取离面内位移场和应变场等优点。近几年来，云纹干涉法在基本理论、实验技术、试件栅复制工艺等方面正趋于完善，而且已经在应变分析、复合材料、断裂力学、残余应力测量等方面获得了成功的应用，是一种具有发展和应用前景的新的实验力学方法。
三维云纹干涉仪是在二维面内云纹干涉仪的基础上增加离面云纹测量的仪器系统，该离面位移的测量系统实际是一种迈克尔逊干涉光路。由于测量条纹直观，灵敏度十分高，所以云纹法得到广泛应用。
- 仪器配置及参数
氦氖激光：功率20mw、（波长632.8nm外腔式氦氖气态偏振激光或波长532nm固体泵浦激光）；
f4过半球扩束镜；
λ/4高能全反射镜，反射率≧99%；
最大位移灵敏度：离面0.316微米（λ/2）；面内0.417微米（1200线/mm）；
最大测试范围0.1~35mm2；
放大倍数0.2~200倍；
条纹分辨率100条/mm；
图像采集卡：进口高速采集卡、256灰度、30帧/秒；
CCD摄像：Watec-902H、灵敏度0.01流明、分辨率570线；
成像镜头：焦距50的CCTV定焦头；
加载系统：实现拉压弯三种载荷模拟及相应自由度调节机构，带有力传感器及数码显示；
力传感器：量程1500N、精度±1N；
进口相移驱动器：相移灵敏度: ∽20nm/V，单通道，最大量程150V；
- 选配件
- 隔振台：2m×1m；台高800mm、主动式气垫隔振、5Hz；
- 全息云纹光栅：已经转移好正交栅的试件；
正交性：π/2±0.5x10-4
衍射效率：大于入射光强的10%
光栅面积：15mm×20mm
基底尺寸：25mm×100mm
基底材料：有机玻璃或铝合金
零场：≤1级条纹
