低温等离子清洗机（Plasma)

等离子体（Plasma）
技术特点：
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。
2.仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验
3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5.电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动保护功能。
8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。
9.采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。
10. LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。
技术规格参数

型号：YZD08-5C	品牌：赛奥特（SAT）
不锈钢/石英舱体	Φ150 mm×L255mm
工作气路	两路，可以选配MFC控制
射频频率	40KHz
射频功率	0-200W/300W可选，可调
控制系统	按钮+单排LED显示，实时显示和检测舱内真空度值
时间范围	0—99分59秒连续可调
工作压力	样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节
工作气体	空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可
进气压力	空气：常压 连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa
工作模式	手动模式和程序化自动模式
真空泵	抽速：1升到5升每秒
输入电源	~220V／50Hz
整机尺寸（D*W*H）	552X590X295mm
重量（约）	24Kg