性能参数
大气压 70~106KPa 工作台面中心振动静位移µm(rms) 0.6主过滤器类别 ULPA 人员保护 6.89*100000
主过滤器效率 99.9995%@0.12μm 下降气流速度(m/s) 0.30流入气流速度(m/s) 0.58 外排风量(m³/h) 360
电源参数
频率 50±1Hz规格
工作室内表面材质 SUS304 重量(Kg) 180脚轮 有 柜内插座配置(防溅插座个数) 1个
固定底脚 可调高度75mm,无裸露螺纹功能参数
过滤器阻塞报警 有 过滤器破损报警 有前窗玻璃防紫外线 有