提供从设备配置、技术服务、到量产工艺优化,以及质量控制的全过程解决方案,满足包含从300mmx300mm到1200mmx2400mm尺寸的全产品线,满足CE/UL标准,承诺PCE 20%@300mmx300mm电池组件、PCE 18%@0.6mx1.2m电池组件。

钙钛矿/晶硅叠层太阳能电池设备和整线解决方案
在单结钙钛矿太阳能电池设备配置的基础上,提供一步涂布法或干湿两步法的钙钛矿/晶硅叠层电池制备工艺,包含从182mmx182mm到210mmx210mm尺寸的全产品线,满足CE/UL标准,承诺高电池效率。
产品介绍:
狭缝涂布设备 Slot-Die
技术特点:
- 多段式供液,涂布膜层均匀性高
- 通过3个激光传感器,实现快速自动对刀、防撞刀
- 搭配高精度注液泵
- 可采用钙钛矿溶剂验收

技术参数:

真空闪蒸及退火设备 VCD & Annealing
技术特点:
- 集成闪蒸和退火工艺,成膜环境和成膜过程高度可控
- 大面积样品退火受热均匀,保证相变一致性
- 快速去除湿膜中的残余溶剂,均匀的过饱和
- 变频调速罗茨泵实现抽气速率可控

技术参数:

激光划刻设备 Laser Scriber
技术特点:
- P1、P2、P3飞秒、皮秒红外激光可选
- 高度定制化,膜面/玻璃面划刻可选,平顶光斑可选
- 精度高,具备逐线功能,线间距小
- 工艺成熟,边缘光洁,无火山环及毛边


蒸镀设备 Evaporation System
技术特点:
- 多源共蒸,实现大面积镀膜
- 热场和温控精确

技术参数:

原子层沉积设备 Atomic Layer Deposition
技术特点:
- 精确控制薄膜厚度
- 薄膜均匀性高
- 温控精度高
- 全自主工艺腔室设计,空间型和时间型可选,多片和单片可选

技术参数:

磁控溅射设备 Sputtering System
技术特点:
- 工艺稳定性高
- 自研氧化镍反应溅射控制器
- ITO/NiOx靶采用圆柱靶,靶材利用率高
- 靶-基距可调,低损伤TCO导电膜镀膜

技术参数:
